Yarı İletken Ekipmanlar İçin 44N Yüksek Hassasiyetli Silindirik Ses Bobini Motorları

Ürün Genel Görünümü

VCAR0044-0075-00A, yüksek konumlandırma doğruluğu elde etmek için özel olarak tasarlanmış silindirsel bir ses bobini motorudur.Bu ses bobini motoru, 7'ye bölünmüş 44N'lik bir en yüksek itişle doğrudan doğrusal hareket sağlar..5 mm vuruş ve lineer bir kodlayıcı ile kapalı döngü kontrolünde kullanıldığında 0.5um konumlandırma çözünürlüğü elde eder.
Dokunmasız hareketli bobin tasarımı, motorun konumunu tutmasını ve aynı yere tekrar tekrar dönmesini sağlayan geri tepki, çakış ve histerezi ortadan kaldırır.Sert hareket yolu ve düşük hareketli kütle, sisteme yüksek mekanik bant genişliği sağlarServo döngüsünün rahatsızlıkları bastırmasına ve hızlı bir şekilde dengelenmesine yardımcı olur.
Bu ses bobini motoru düşük kuvvet dalgalanmasını sağlamak için hassas zemin bileşenleri ve dengelenmiş manyetik devre kullanılarak üretilmiştir.Hassas zemin rehber ray yüzeyleri ve eşleştirilmiş mıknatıslar tüm vuruş boyunca nominal çıkış değerinin% 1 altında kuvvet dalgalanması tutmakMikrometre düzeyinde hizalama, denetim veya ölçüm ekipmanları için ideal bir bileşendir.

Çözüm

Kesinlik ekipmanlarındaki konumlandırma hataları tipik olarak geri tepkiden, çubuk kayma sürtünmesinden, termal sürüklenmeden ve mekanik rezonanstan kaynaklanır.Ses bobini motorları ilk iki hata kaynağını tamamen ortadan kaldırır: geri tepkiye neden olacak dişliler veya kurşun vidalar yoktur ve temas dışı bobin tasarımı, aşılması gereken statik sürtünme olmadığı anlamına gelir.Kalan hatalar, yüksek çözünürlüklü doğrusal kodlayıcı içeren kapalı döngü sistemi ile kontrol edilir., yükün gerçek konumu hakkında doğrudan geri bildirim sağlar.
Güç akımla orantılı olduğundan, servosistem, 0.5 mikrometrelik adım hareketleri elde etmek veya yük altında sabit bir pozisyon tutmak için tam olarak doğru miktarda kuvvet uygulayabilir.Sonuç olarak, mikrometre düzeyinde bir hassasiyetle hareket ekseni oluşur., aşınma kaynaklı sürüklenmeden ve milyonlarca döngü boyunca tutarlı bir performans.
Çizik olmadığı için, geleneksel aşamalarda sıkça görülen titreme nedeni olan çubuk kayma etkileri, son derece düşük hızlarda bile görülmez.Bu çözüm, hurda ve yeniden işlemeyi azaltırken verimi arttırır..

Özellikler

Uygulama

Tipik Uygulamalar: Bunlar arasında yarı iletken levha hizalanması, fotonik ve lif hizalanması, lazer işleme başının konumlandırılması, mikroskoplarda Z ekseni odaklanması, hassas ölçüm platformları,Maske denetimi, ve tıbbi cihazların konumlandırılması.
Bu ses bobini aktüatörü, endüstriyel kameralar için otomatik odaklama sistemlerinde ve analitik aletlerde hassas valf kontrolü için de kullanılır.Sub-mikron çözünürlüğü ve istikrarlı pozisyon tutma yetenekleri gerektiren herhangi bir kısa darbe hareket görevi bu aktüatörden yararlanabilir.

Sık Sorulan Sorular

S: 0.5um çözünürlüğü nasıl elde edilir?
A: çözünürlük, sürtünme olmayan bir ses bobine motoru ve kapalı bir servo döngüsündeki yüksek çözünürlüklü bir doğrusal kodlayıcının kombinasyonundan gelir. Kodlayıcının gerçek yük pozisyonunu ölçmesi,ve motorun pürüzsüz kuvvet çıkışı tek adımlı hareketleri 0.5mm.

S: Hangi faktörler tekrarlanabilirliği etkiler?
A: Tekrarlanabilirlik esas olarak kodlayıcı kalitesine, servo ayarına ve termal istikrarına bağlıdır.Bu yüzden mekanik tekrarlanabilirlik motorun ömrü boyunca tutarlı kalır.Düzenli kodlayıcı kalibrasyonu tek rutin bakım önerilir.

S: Motor çalıştırıldığında pozisyonunu tutabilir mi?
A: Evet. Kapalı bir döngüde, servo, kuvveti yükle dengeleyerek sargı içindeki herhangi bir pozisyonda sargı tutabilir. Çoğu statik uygulama için bir tutma frenine gerek yoktur.

S: Özel bir vuruş veya kodlayıcı seçeneği alabilir miyim?
A: Evet. SUPT MOTION darbe, kuvvet, voltaj ve kodlayıcı türünü ayarlayabilir. Özel bir teklif için doğruluk hedefi ve hareket profili ile bizimle iletişime geçin.